Rigaku führt XTRAIA MF-3400, ein Messinstrument für Halbleiter der nächsten Generation ein

Rigaku Corporation, ein globaler Lösungspartner im Bereich Röntgenanalysetechnologien und ein Unternehmen der Rigaku Holdings Corporation (Hauptsitz: Akishima, Tokio; CEO: Jun Kawakami; im Folgenden „Rigaku“), hat XTRAIA MF-3400, ein Instrument, das in Halbleiterherstellungsprozessen verwendet wird, um die Dicke und Zusammensetzung von Wafern zu messen, auf den Markt gebracht. Das XTRAIA MF-3400 wird die Produktivität im schnell wachsenden Halbleitermarkt erheblich steigern, indem es die hochpräzise Bewertung von Materialien ermöglicht, die für die Massenproduktion von Speicherchips der nächsten Generation und Hochgeschwindigkeits-KI-Geräten unerlässlich sind.

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XTRAIA MF-3400

Da generative KI und Rechenzentren weiter expandieren, steigt die Nachfrage nach energieeffizienten Hochleistungshalbleitern, die in der Lage sind, riesige Datenmengen zu verarbeiten. Infolgedessen werden Halbleiterstrukturen durch einen einzigen Chip, der Milliarden mikroskopisch kleiner elektronischer Komponenten integriert, immer komplexer, empfindlicher und dreidimensional.

Stabile Massenproduktion dieser fortgeschrittenen Geräte erfordert zerstörungsfreie Technologien, die in der Lage sind, Metallschichten mit Nanometer-Präzision zu messen und zu isolieren.
Um diesen Bedürfnissen gerecht werden, hat Rigaku die Röntgen-Technologien weiter vorangebracht und über Jahrzehnte hinweg weiterentwickelt, um das XTRAIA MF-3400 zu schaffen. Zu den neuen Fähigkeiten des Instruments gehört, dass XTRAIA MF-3400 die Messung von Molybdän unterstützt, einem Material, das als Material der nächsten Generation Aufmerksamkeit erregt.

Hauptmerkmale des XTRAIA MF-3400

• Messgeräte bis zu doppelt so leistungsfähig wie Vorgängergeräte
  Durch Verdopplung der Röntgenstrahlendosis und Integration eines neuen Transportsystems wurde die Anzahl der Wafer, die pro Stunde messbar sind dramatisch erhöht.
• Zerstörungsfreie Messung mit Genauigkeit im Nanomaßstab
  Auf einem Feld von lediglich 50 µm Breite - weniger als die Breite eines menschlichen Haares - kann das XTRAIA MF-3400 die Schichtdicke mit Sub-Nanometer-Präzision messen, die feiner ist als die Dicke eines einzelnen Atoms.
• Mehrere Analysen auf einem einzigen Gerät
  Das XTRAIA MF-3400 umfasst mithilfe von Röntgenstrahlen drei analytische Funktionen: Röntgenfluoreszenz, Röntgenreflektometrie und Röntgenbeugung. Die Messung kann durch Registrierung optimaler rezeptartiger Bedingungen, die auf die Ziele zugeschnitten sind, darunter ultradünne Schichtstruktur, Dicke oder Kristallinität, automatisiert werden.

Erfolgsbilanz und Perspektiven

KIOXIA Corporation und KIOXIA Iwate Corporation haben beschlossen, das Gerät in die Massenproduktionslinien für 3D-NAND-Flash-Speicher¹ zu integrieren. Darüber hinaus wird erwartet, dass das Gerät in der Speicherproduktion der nächsten Generation eingesetzt wird, bei der hohe Kapazitäten und hohe Datenübertragungsraten unerlässlich sind und die Einführung der Massenproduktion unmittelbar bevor steht.
Darüber hinaus wird erwartet, dass die DRAM-Hersteller² und Logik-Halbleiter³ das XTRAIA MF-3400 übernehmen werden. Aufgrund der Kombination mit seinem Vorläufermodell rechnet Rigaku mit Nettoumsätzen, die 6 Milliarden JPY im Geschäftsjahr 2026 übersteigen werden.

Eine Reihe von Modulen kann für das XTRAIA MF-3400 ausgewählt werden, das auf verschiedene Anwendungen zugeschnitten ist. Diese Flexibilität versetzt jeden Hersteller in die Lage, die Messumgebung zu schaffen, die ideal für seine Herstellungsprozesse ist. Durch Nutzung dieser Stärken in Vielseitigkeit und Skalierbarkeit wird Rigaku weiterhin Anwendungen in neuen Material- und Prozessbereichen entwickeln, um im Geschäftsjahr 2027 und darüber hinaus ein nachhaltiges Wachstum von 20% pro Jahr für beide Modellreihen anzustreben.

1. Speichermedien, die eine 3D-Struktur verwenden, um eine hohe Kapazität, eine hohe Geschwindigkeit und einen geringen Stromverbrauch zu erreichen
2. Flüchtige Hauptspeichergeräte, die Daten vorübergehend speichern - Hauptmerkmal: Hochgeschwindigkeitsbetrieb
3. Halbleiter, die für Prozesse, wie Berechnung und Steuerung verwendet werden

Produktdetails

https://rigaku.com/products/semiconductor-metrology/xrr-edxrf-and-optical-tools/xtraia-mf-3400?setLang=english 　

Über die Rigaku Group

Seit der Gründung im Jahr 1951 haben sich die Ingenieure der Rigaku Group dem Ziel verschrieben, der Gesellschaft mit Spitzentechnologien zu helfen, insbesondere in den Kernbereichen Röntgen- und Thermoanalyse. Mit einer Marktpräsenz in 136 Ländern und Regionen und rund 2.000 Mitarbeitern in 9 weltweiten Niederlassungen ist Rigaku ein Lösungspartner für die Industrie und Forschungsinstitute. Unsere Verkaufsquote in Übersee hat etwa 70 % erreicht, während wir in Japan einen außergewöhnlich hohen Marktanteil halten. Gemeinsam mit unseren Kunden entwickeln wir uns weiter und wachsen. Da sich die Anwendungen von Halbleitern, elektronischen Materialien, Batterien, Umwelt, Ressourcen, Energie, Biowissenschaften bis hin zu anderen High-Tech-Bereichen erstrecken, verwirklicht Rigaku Innovationen unter dem Motto „To Improve Our World by Powering New Perspectives“.
Für weitere Informationen besuchen Sie bitte rigaku-holdings.com/english

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